APPARECCHI IN OSSIDO DI ALLUMINIO PER LAPPATURA WAFER DI SILICONE
Esistono molti tipi di ossido di alluminio sul mercato.
A causa della tecnica di produzione, sono presenti ossido di alluminio calcinato e ossido di alluminio fuso.
Secondo la fase cristallina, ci sono ossido di alluminio α e ossido di alluminio β.
Allora che tipo di ossido di alluminio viene utilizzato per la lappatura del wafer di silicio?
È una sorta di ossido di alluminio calcinato a piastrine bianche, zhengzhou haixu abrasivo co., ltd, lo ha prodotto per molti anni, la cui qualità è simile a JAPAN FUJIMI e USA Microgrit WCA.
Le dimensioni prodotte dagli abrasivi Haixu sono le seguenti?
| MISURARE | D0 | D3 | D50 | D94 |
| HX-PWA/WCA40 | <77,6 | 39-44.6 | 27,7-31,7 | 18-20 |
| HX-PWA/WCA35 | <64,2 | 35,4-39,8 | 23,8-27,2 | 15-17 |
| HX-PWA/WCA30 | <50,4 | 28.1-32.3 | 19.2-22.3 | 13.4-15.6 |
| HX-PWA/WCA25 | <40,1 | 24.4-28.2 | 16.1-18.7 | 9.6-11.2 |
| HX-PWA/WCA20 | <32,0 | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8.2-9.8 |
| HX-PWA/WCA15 | <25.2 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5.8-6.8 |
| HX-PWA/WCA12 | <20.3 | 11.8-13.8 | 7.6-8.8 | 4.5-5.3 |
| HX-PWA/WCA09 | <16.3 | 8.9-10.5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
| HX-PWA/WCA05 | <12,5 | 6.6-7.8 | 4.3-5.1 | 2.55-3.05 |
| HX-PWA/WCA03 | <10.0 | 4.8-5.6 | 2.8-3.4 | 1.5-2.1 |
In essi HX-PWA/WCA09, HX-PWA/WCA12 e HX-PWA/WCA15 sono utilizzati ampiamente per lappatura dei wafer di silicio.
